硅中硼检测

　　硅中硼检测哪里可以做?中析研究所检测中心提供硅中硼检测服务，出具的硅中硼检测报告支持扫码查询真伪。服务领域：半导体工业、玻璃工业、陶瓷工业、核工业、冶金工业、化学合成、电池材料和防腐涂料。服务项目：硼含量检测、杂质检测、结晶质量检测、电学性能检测等。实验室工程师严格按照相关标准进行实验，并且提供非标实验定制服务。

　　检测周期:7-15个工作日，参考周期

　　检测样品

　　多晶硅，单晶硅，多晶硅片，单晶硅片，硅膜。

　　检测项目

　　硼含量，杂质，结晶质量，电学性能。

　　检测方法

　　原子吸收光谱(AAS)：这是一种常用的化学分析方法，可以测定硅样品中的硼含量。样品通常通过酸溶解后，使用原子吸收光谱仪测量硼的吸收特征线来确定硼的浓度。

　　电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)：这是一种高灵敏度的光谱分析方法，可以用于测定硅样品中硼的含量。样品通常需要经过酸溶解和稀释后，使用ICP-OES仪器测量硼的发射光谱来确定其浓度。

　　质谱法：质谱法可以用于硅中硼的定量分析。样品通常需要经过溶解和适当的前处理后，使用质谱仪测量硼的质谱信号来确定其含量。

　　离子色谱法：离子色谱法可以用于测定硅样品中硼的含量。样品通常需要经过溶解和稀释后，使用离子色谱仪分离和测定硼离子。

　　核磁共振：核磁共振技术可以用于硅中硼的定量分析。该方法基于硼原子核的磁共振信号来确定硼的含量。

　　检测仪器

　　原子吸收光谱仪(AAS)，电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-OES)，质谱仪，离子色谱仪，X射线衍射仪(XRD)，扫描电子显微镜(SEM)，霍尔效应测量仪、四探针测量仪。

　　检测标准

　　GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法

　　GB/T 20176-2006表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

　　GB/T 32495-2016表面化学分析二次离子质谱硅中砷的深度剖析方法

　　GB/T 24580-2009重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

　　GB/T 13389-2014掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

　　GB/T 29851-2013光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法

　　GB/T 32281-2015太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

　　GB/T 29056-2012硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法

　　GB/T 34843-2017 3.3硼硅玻璃 性能