GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

　　Test method for particles on polished silicon wafer surfaces

　　标准 推荐性 现行标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》由TC203(半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报，TC203SC2(半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行，主管部门为标准化管理委员会。

GB/T 19921-2018主要起草单位

有研半导体材料有限公司 、上海合晶硅材料有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、南京国盛电子有限公司 、有色金属技术经济研究院 、天津市环欧半导体材料技术有限公司 。

GB/T 19921-2018主要起草人

孙燕 、刘卓 、冯泉林 、徐新华 、张海英 、骆红 、刘义 、杨素心 、张雪囡 。

GB/T 19921-2018相近标准(计划)

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