双极型晶体管集电极-发射极击穿电压(基极开路) V(BR)CEO检测

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一、检测目的

  1. 验证器件极限耐压能力:确定晶体管在基极开路(IB=0)时,集电极-发射极间可承受的大反向电压。
  2. 评估器件可靠性:避免器件在高压下因雪崩击穿或二次击穿导致失效。
  3. 筛选不合格品:剔除V(BR)CEO低于标称值的器件,保障批次质量。

二、检测项目与测试方法

1. 击穿电压(V(BR)CEO)测试

  • 测试原理:基极开路(IB=0),集电极-发射极间施加反向电压,逐步增加电压直至击穿。
  • 测试条件
    • 温度:25℃(常温)及高温(如85℃、125℃)。
    • 电流限制:通常设定击穿电流阈值为IC=1~10mA(根据器件规格)。
  • 测试步骤
    1. 将晶体管基极开路(或通过高阻值电阻接地)。
    2. 在集电极-发射极间施加可调直流电压源,以缓慢速率(如1V/s)逐步升压。
    3. 监测集电极电流IC,当IC达到预设阈值时记录此时电压值,即为V(BR)CEO。
  • 设备
    • 半导体参数分析仪(如Keysight B1500A)。
    • 高精度直流电源与电流表。
  • 标准参考
    • JEDEC JESD77B、IEC 60747标准。

2. 漏电流(ICEO)测试

  • 测试目的:在击穿电压以下(如100% V(BR)CEO)测量集电极-发射极漏电流,评估器件反向截止特性。
  • 测试方法
    • 施加电压为标称V(BR)CEO的100%(如标称值为100V,则施加80V)。
    • 测量此时集电极电流ICEO,通常要求ICEO<1μA(具体值依器件规格)。

3. 温度特性测试

  • 目的:验证V(BR)CEO随温度的变化规律(通常温度升高,V(BR)CEO下降)。
  • 测试方法
    • 在高温箱或温控探针台中测试不同温度下的V(BR)CEO。
    • 绘制V(BR)CEO与温度的关系曲线,分析温度系数。

4. 重复性与稳定性测试

  • 测试内容
    • 对同一器件多次施加击穿电压,观察V(BR)CEO的变化。
    • 长时间施加高压(如标称V(BR)CEO的100%)后复测击穿电压,验证器件是否退化。

5. 失效模式分析

  • 测试后分析
    • 观察击穿后的器件是否发生永久性损坏(如烧毁、短路)。
    • 通过显微镜或SEM检查击穿点位置,分析失效机理(如热点、材料缺陷)。

三、检测注意事项

  1. 静电防护(ESD):测试前确保器件和测试平台接地,避免静电损伤。
  2. 电流限制:测试时必须设置电流上限,防止击穿时电流过大导致器件烧毁。
  3. 温控精度:高温测试需保证温度均匀性,避免局部过热影响结果。
  4. 设备校准:电压源和电流表的精度需定期校准,误差应<±1%。

四、测试结果判定

  1. 合格标准
    • 实测V(BR)CEO ≥ 标称值(如标称100V,实测需≥100V)。
    • 漏电流ICEO在允许范围内。
    • 温度特性符合数据手册曲线。
  2. 不合格处理
    • 若V(BR)CEO低于标称值,需分析工艺缺陷(如基区掺杂不均匀、钝化层问题)。
    • 漏电流超标可能由表面污染或结缺陷引起。

五、总结

V(BR)CEO检测是双极型晶体管可靠性评估的核心环节,需通过多维度测试(电压、电流、温度、重复性)确保器件在实际应用中稳定工作。严格的检测流程和失效分析可有效提升产品良率,为高压电路设计提供关键数据支持。


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